高阻源

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2.

The instruments used to make these high impedance measurements include electrometers, picoammeters, and source -measure units (SMUs).

用来测量这些高阻源的仪器包括静电计、皮安表和源 -测量单元（SMU ）。

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3.

The following paragraphs examine considerations that apply to all types of electrometer and SMU measurements on high resistance sources.

以下各段考察所有类型的静电计和 SMU 在测量高阻源时要考虑的问题。

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