FOUP

  • 网络晶圆传送盒(front-opening-unified-pod);前开式晶圆传送盒;前开式晶圆盒
1.
晶圆传送盒(front-opening-unified-pod)
300mm 晶圆传送盒(FOUP)之氮气填充动态模拟分析 Numerical Study of the Nitrogen Purge Processes for the Front Opening …
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2.
前开式晶圆传送盒
家登是全球第一家发表18寸前开式晶圆传送盒FOUP)与多功能晶圆传送盒(MAC)的业者,与18寸晶圆同步搭载的极紫外 …
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3.
前开式晶圆盒
...同容量和/或构造的晶圆容器之间灵活的接口连接。也适用于不同规格的前开式晶圆盒 (FOUP), 简化其运输器和处理设备之 …
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4.
晶圆盒
随著晶圆进入12寸世代,25片装的晶圆盒(FOUP)重量已达10公斤,人工搬运已无法再负荷,以及为了搬运的安全与效率,以及 …
etds.lib.nchu.edu.tw|基于9个网页