IT之家 12 月 8 日消息,据英特尔官方消息,在 IEDM 2024(2024 年 IEEE 国际电子器件会议)上,英特尔代工展示了多项技术突破。 ▲ 图源英特尔 在新材料方面,减成法钌互连技术(subtractive ...
英特尔代工率先在研发测试设备上展示了一种可行、可量产、具有成本效益的减成法钌互连技术,该工艺引入空气间隙,无须通孔周围昂贵的光刻空气间隙区域(lithographicairgapexclusionzone),也可以避免使用选择性蚀刻的自对准通孔(se ...
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