静电卡盘具有对工件损伤小、精度高等特点,被广泛运用于半导体制造工艺等需要精密加工的场景,是薄膜设备、刻蚀机、离子注入机、量测设备等高端装备的核心部件。 2024财年,TOTO预计与半导体相关的陶瓷部门的营业利润将达到200亿日元 (约1.3亿美元) ...